工作平行度在优质耐用的线性模组的平台上安放规范尺，以实验指示器在内滑块所能移动的规模极限进行丈量查验，线性马达移动规模极限内读数的最大差即为测定值。定位精确度直线运动单元精度丈量时以其最大行程为基准长度，然后以从基准方位开始向实践移动的距离与指令值之间的最大差错的绝对值来标明。运用几种丈量线性滑台的方法。一起，直交机械手必须挑选质量有确保的直线运动单元，才干最大化地确保线性滑台的基本精确度。

直线运动单元是同步带做传动零件，马达带动同步带轮，驱动同步带运动，同步带带动物体线性运动。滚珠丝杠直线运动单元是马达驱动滚珠丝杠转动，来实现物体移动，因丝杆无法导向，需增加导向机构导向，常用的导向零部件有滑轨滑块、光轴直线轴承等，常用于精度传动。用燕尾槽作为导向机构实现物体移动。传动精度没有同步带滑台模组和滚珠丝杆滑台模组高。微型精密滑台主要运用于负载较小但对精度要求较高的手动调节场合。

气缸通过调节设备在气缸的两边的单向节流阀然后完结速度的控制。直线运动单元通过控制输出电流的频率凹凸 来控制它运转速度，拥有能够接连可调的优势，反应的速度快，通过反馈系统对于速度进行的准确控制。直线运动单元通过微处理器检测的方位时，能够准确控制它速度的快慢。当气缸的活塞运动速度较高的时候，会遭到强烈的碰击气缸的前后端盖，导致气缸的振荡以及损坏。当它运动到端部的方位时，电动滑台能够当即下降其运转速度，因而完结结尾缓冲的控制。

圆柱形动磁体直线电机动子是圆柱形结构。沿固定着磁场的圆柱体运动。这种电机是最初发现的商业应用但是不能使用于要求节省空间的平板式和直线运动单元的场合。直线运动单元的磁路与动磁执行器相似。区别在于线圈可以复制以增加行程。典型的线圈绕组是三相组成的，使用霍尔装置实现无刷换相。推力线圈是圆柱形的，沿磁棒上下运动。这种结构不适合对磁通泄漏敏感的应用。必须小心操作保证手指不卡在磁棒和有吸引力的侧面之间。