工作原理是：通过一组精密直线平台直线滑台固定在另一组滑台的滑块上。例如：菲格斯十字滑台把X轴固定在Y轴的滑台上，这么X轴上的滑块便是运动目标，即可由Y轴控制滑块的Y方向运动，由能够由X轴控制滑块的X方向运动，其运动办法一般由外置驱动来完结。这么就能够完结让滑块在平面坐标上完结定点运动，线性或者曲线运动。精密直线平台是指由两组直线滑台的依照X轴方向和Y轴方向组合而成的组合滑台，X轴的中点与Y轴重合时，外观上看起来是中文中的“十”字。

圆柱形动磁体直线电机动子是圆柱形结构。沿固定着磁场的圆柱体运动。这种电机是最初发现的商业应用但是不能使用于要求节省空间的平板式和精密直线平台的场合。精密直线平台的磁路与动磁执行器相似。区别在于线圈可以复制以增加行程。典型的线圈绕组是三相组成的，使用霍尔装置实现无刷换相。推力线圈是圆柱形的，沿磁棒上下运动。这种结构不适合对磁通泄漏敏感的应用。必须小心操作保证手指不卡在磁棒和有吸引力的侧面之间。

精密直线平台轴承是将反转运动转化为直线运动，或者将直线运动转化为反转运动的抱负产品；它的功用首要是将旋转运动转化为直线运动。每个品牌的直线模组轴承的原料，做工都不同，没有一个一致的规范，这样就逼迫各个厂商在做工上不断的改善，以便客户便利转化使用。原料方面，各个品牌逐渐一致收购一致质量的原料，这样质量上能够有保证；技能选型方面，尽量让品牌之间互换性更强；技能寿数上，现在许多精密直线平台轴承的品牌厂家逐渐改善他们的使用寿数，带来稳定性。 

精密直线平台是同步带做传动零件，马达带动同步带轮，驱动同步带运动，同步带带动物体线性运动。滚珠丝杠精密直线平台是马达驱动滚珠丝杠转动，来实现物体移动，因丝杆无法导向，需增加导向机构导向，常用的导向零部件有滑轨滑块、光轴直线轴承等，常用于精度传动。用燕尾槽作为导向机构实现物体移动。传动精度没有同步带滑台模组和滚珠丝杆滑台模组高。微型精密滑台主要运用于负载较小但对精度要求较高的手动调节场合。