抗振性与稳定性：稳定性是指在给定的作业条件下不呈现自激振荡的功能；而抗振性则是指模组副承受受迫振荡和冲击的才能。伺服滑台变形包含导轨本体变形导轨副触摸变形，导轨反抗受力变形的才能。变形将影响构件之间的相对方位和导向精度。运动灵敏度和走位精度：伺服滑台运动灵敏度是指运动构件能完成的最小行程；走位精度是指运动构件能按要求中止在目标方位的才能。运动灵敏度和走位精度与导轨类型、冲突特性、运动速度、传动刚度、运动构件质量等要素有关。

合适的运动速度：伺服滑台的运动速度与同步速度有关，而同步速度又正比于极距。因此极距的选择范围决定了运动速度的选择范围。极距太小会降低槽的利用率，增大槽漏抗和减小品质因数，从而降低电动机的效率和功率因数。极距的下限通常取3cm。极距可以没有上限，但当马达的输出功率一定时，初级铁芯的纵向长度是有限的；同时为了减小纵向边缘效应，伺服滑台电动机的极数不能太少，故极距不可能太大。

气缸通过调节设备在气缸的两边的单向节流阀然后完结速度的控制。伺服滑台通过控制输出电流的频率凹凸 来控制它运转速度，拥有能够接连可调的优势，反应的速度快，通过反馈系统对于速度进行的准确控制。伺服滑台通过微处理器检测的方位时，能够准确控制它速度的快慢。当气缸的活塞运动速度较高的时候，会遭到强烈的碰击气缸的前后端盖，导致气缸的振荡以及损坏。当它运动到端部的方位时，电动滑台能够当即下降其运转速度，因而完结结尾缓冲的控制。

伺服滑台多轴组合要优于单轴直线滑台很多，可快速运动和慢速运动,高精密、高品质、高效率的优越性能，现已成为机械加工行业中一种重要的机床附件，使伺服滑台的快速进退，利用滚珠丝杠和线轨获得较高的精度镗床专机，固定工作台安装可调铣头工件安装在工作台上，可大大提高工作效率，直线滑台多轴组合现已广泛应用于PC，LCD，，生物科技，半导体，光电，食品，医药，冶金、机械、电力、造船、汽车等行业的相关产业生产设备上，并获得广大客户的一致好评。

工作原理是：通过一组伺服滑台直线滑台固定在另一组滑台的滑块上。例如：菲格斯十字滑台把X轴固定在Y轴的滑台上，这么X轴上的滑块便是运动目标，即可由Y轴控制滑块的Y方向运动，由能够由X轴控制滑块的X方向运动，其运动办法一般由外置驱动来完结。这么就能够完结让滑块在平面坐标上完结定点运动，线性或者曲线运动。伺服滑台是指由两组直线滑台的依照X轴方向和Y轴方向组合而成的组合滑台，X轴的中点与Y轴重合时，外观上看起来是中文中的“十”字。