抗振性与稳定性：稳定性是指在给定的运转条件下不出现自激振动的性能；而抗振性则是指模组副接受受迫振动和冲击的能力。伺服滑台刚度对于精密机械与仪器尤为重要。伺服滑台变形包括导轨本体变形导轨副接触变形，导轨抵抗受力变形的能力。变形将影响构件之间的相对位置和导向精度。两者均应考虑。皮带滑台运动灵敏度和走位精度：皮带滑台运动灵敏度是指运动构件能实现的最小行程；走位精度是指运动构件能按要求停止在目标位置的能力。

伺服滑台自动化通过智能自动控制、自动化装置，在无人干预的情况下按规定的程序或指令自动进行操作或控制的过程，在工业、农业、国防和科学技术现代化中广受欢迎。伺服滑台皮带型驱动方式的特点是运行速度快，通常以最快的速度可以达到2m/s，最长的有效行程可以达到3m，而丝杆模块具有不大于1.5m的最大行程，皮带模块相对精度低和高负荷，广泛应用于工业生产过程中，而皮带型驱动方式的因为配件的不同价格普遍比较实惠

工作原理是：通过一组伺服滑台直线滑台固定在另一组滑台的滑块上。例如：菲格斯十字滑台把X轴固定在Y轴的滑台上，这么X轴上的滑块便是运动目标，即可由Y轴控制滑块的Y方向运动，由能够由X轴控制滑块的X方向运动，其运动办法一般由外置驱动来完结。这么就能够完结让滑块在平面坐标上完结定点运动，线性或者曲线运动。伺服滑台是指由两组直线滑台的依照X轴方向和Y轴方向组合而成的组合滑台，X轴的中点与Y轴重合时，外观上看起来是中文中的“十”字。

伺服滑台与旋转电机相比，主要有以下几个优点：1，结构简单2，定位精度高3，反应速度快，灵敏度高，随动性好4，工作安全可靠，寿命长5，高速度。伺服滑台的优势和劣势1，免维护2，无滚珠丝杆，齿轮箱，齿条与齿轮，传动带皮带轮3，零回程间隙和柔度4，高刚度5，高定位精度6，紧凑的机械装配7，减少机器中的部件数量8，速度非常平稳9，静音运行劣势：由于伺服滑台本身所具有的磁路开断所引起的边端效应以及安装气隙较大等问题。