工作原理是：通过一组精密直线平台直线滑台固定在另一组滑台的滑块上。例如：菲格斯十字滑台把X轴固定在Y轴的滑台上，这么X轴上的滑块便是运动目标，即可由Y轴控制滑块的Y方向运动，由能够由X轴控制滑块的X方向运动，其运动办法一般由外置驱动来完结。这么就能够完结让滑块在平面坐标上完结定点运动，线性或者曲线运动。精密直线平台是指由两组直线滑台的依照X轴方向和Y轴方向组合而成的组合滑台，X轴的中点与Y轴重合时，外观上看起来是中文中的“十”字。

曾有两人分别建议将精密直线平台作为火车的推进机构，一种建议是将初级放在轨道上，另一种建议是将初级放在车辆底部。这些建议无疑是给当时精密直线平台研究领域的科研人员的一剂兴奋剂，以致许多国家的科研人员都投入了这些研究工作。1917年出现了第一台圆筒形直线电动机，事实上那是一种具有换接初级线圈的直流磁阻电动机，人们试图把它作为导弹发射装置，但其发展并没有超出模型阶段。随着控制技术和材料性能的显著提高，应用直线电机的实用设备被逐步开发出来。

在使用精密直线平台的过程中往往会忽略到直线导轨，电动滑台精度高也不完全取决于螺杆本身，也有直线导轨的定位稳定精度。 而一般滑台呈现定位稳定精度不够时，其实滑块行走间隔与实际间隔不一样了。当电动滑台运用久了两者间隔产生了误差，那么精度就会下降，没有那么的精准。电动滑台滑块行走间隔与实际间隔纷歧的毛病排除办法：在后咱们是查看输入行走的数值是否呈现了误差，行走数值呈现了误差那很明显会影响到运用过程中的精密直线平台精度。

为马达驱动之单一复合件，在行业中有“最佳化设计的模组滑台”之称。它之所以赢得这个称号，是因为下列几点原因。它是由滚珠螺杆与U型结构之精密直线平台构成，运用复合化、轻量化与模组化之趋势，结合高精度、高负载与高刚性等设计理念所自行开发。可节省安装使用空间与维修成本，已广泛应用在精密机械、半导体设备与其他需要精密定位的机构上。滚动接触由于摩擦耗能小，滚动面的摩擦损耗也相应减少，故能使滚动精密直线平台导轨系统长期处于高精度状态。

圆柱形动磁体直线电机动子是圆柱形结构。沿固定着磁场的圆柱体运动。这种电机是最初发现的商业应用但是不能使用于要求节省空间的平板式和精密直线平台的场合。精密直线平台的磁路与动磁执行器相似。区别在于线圈可以复制以增加行程。典型的线圈绕组是三相组成的，使用霍尔装置实现无刷换相。推力线圈是圆柱形的，沿磁棒上下运动。这种结构不适合对磁通泄漏敏感的应用。必须小心操作保证手指不卡在磁棒和有吸引力的侧面之间。