抗振性与稳定性：稳定性是指在给定的作业条件下不呈现自激振荡的功能；而抗振性则是指模组副承受受迫振荡和冲击的才能。伺服滑台变形包含导轨本体变形导轨副触摸变形，导轨反抗受力变形的才能。变形将影响构件之间的相对方位和导向精度。运动灵敏度和走位精度：伺服滑台运动灵敏度是指运动构件能完成的最小行程；走位精度是指运动构件能按要求中止在目标方位的才能。运动灵敏度和走位精度与导轨类型、冲突特性、运动速度、传动刚度、运动构件质量等要素有关。

在有电磁、静电气放电、无线磁波妨害的场所食用时，要取出伺服滑台中的马达。在拆卸过程中注意马达的上下轴，取出时请用滑台挡住上下周轴，尽量不用身体夹在上下周驱动部分，同时在拆卸前必须切断控制器电源。伺服滑台设计终端的目的是为了不让线性模组滑台的动力消失或冲动而产生危险，危险的大小与该物体的形状、重量、温度、化学性质有关，在使用前应测量好这些因素并适当采取防护措施。通过质量认证的线性模组滑台禁止在任何可燃性气体的环境中使用。

工作原理是：通过一组伺服滑台直线滑台固定在另一组滑台的滑块上。例如：菲格斯十字滑台把X轴固定在Y轴的滑台上，这么X轴上的滑块便是运动目标，即可由Y轴控制滑块的Y方向运动，由能够由X轴控制滑块的X方向运动，其运动办法一般由外置驱动来完结。这么就能够完结让滑块在平面坐标上完结定点运动，线性或者曲线运动。伺服滑台是指由两组直线滑台的依照X轴方向和Y轴方向组合而成的组合滑台，X轴的中点与Y轴重合时，外观上看起来是中文中的“十”字。

用直线电机来实现直接驱动，就省去了减速机，丝杠/皮带/齿轮齿条等传动链中间环节，提高了系统的传动精度和响应速度；集成了直线电机的伺服滑台，被称为直线电机模组或伺服滑台：直线电机在工业设备中的应用，主要在机床方便比较突出，近几年，国际上对数控机床采用直线电机显得特别热，究其原因是，传统机床的驱动装置丝杆驱动，丝杆驱动本身具有：长度限制，机械间隙，摩擦后精度问题等，而直线电机可以实现超高的精度，速度是丝杠的10倍甚至更多。